• 带0.1µm/0.4µm 分辨力 / 重复精度的指示精 度可达 (1.1+0.6L/600)µm。

• 高精度测高仪加入了广泛的测量功能。

• 为了达到一流的精度，使用高精度反射性线性编码器和高精度导轨。

• 测量可以通过图标命令来执行，同时，也支持一键操作，保证正面的垂直度为 5µm，直线度为 4µm。

• 使用 TFT 液晶显示屏，以达到完美的可视性和可操作性。

• 气体全浮 / 半浮系统可以进行空气浮动高度调整。

• 配有基本的统计功能，另外， RS-232C 数据输出可通过连接计算机上的 SPC 软件，进行外部测量数据评估 (可选)。

• 精密黑色花岗岩平台，详细信息参见 E-49 页。

• 数据备份 / 恢复，测量工件程序可通过 USB存储设备来执行 (FAT16/32 兼容格式)。

通用参数 ：

测量范围 : 0 - 977mm

滑动行程 : 600mm

分辨力 (可切换): 0.0001 / 0.001 / 0.01 / 0.1mm

20ºC 时精度 *1: (1.1+0.6L/600)µm

L 为最大测量长度 (mm)

重复精度 (2σ) *1: 平面 : 0.4µm，孔 : 0.9µm

垂直度 *2 : 5µm (补正后)

直线度 *2 : 4µm (机械直线)

驱动方式 : 手动 / 电动 (5 - 40mm/s, 7 级)

测力 : 1N

平衡方式 : 配重 (自动恒压装置)

浮动方式 : 带有内置空气压缩机的全 / 半浮动

显示 : 5.7 英寸彩色 TFT 液晶显示

显示语言 : 日语、英语、德语、法语、意大利语、西

班牙语、荷兰语、葡萄牙语、瑞典语、捷

克语、匈牙利语、斯诺文尼亚语、波兰语、繁体中文、简体中文、韩语。

可存储程序 : 可达 50 个测量程序

可存储数据 : 可达 60,000 个测量数

电源 : AC 适配器 / 电池 (Ni-MH)

电池操作时间 : 大约 5 小时(空气浮动和滑块占仪器工作量的 25%的情况下)

*1 使用标准 ø5 偏心测头

*2 使用杠杆测头 (MLH-521) 或 Mu-checker (M-511)